赫爾納供應(yīng)德國SENTECH等離子刻蝕機 ICP-RIE SI 500

赫爾納供應(yīng)德國SENTECH 等離子刻蝕機 ICP-RIE SI 500，德國總部直接采購，近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗,原裝產(chǎn)品,支持選型，為您提供一對一好的解決方案：貨期穩(wěn)定，快速報價，價格優(yōu)，在中國設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。

公司簡介：SENTECH是一家專注于等離子蝕刻設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的公司，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。SENTECH等離子蝕刻機以其高精度、高穩(wěn)定性和多功能性而著稱。

德國SENTECH等離子刻蝕機 ICP-RIE SI 500產(chǎn)品類別：等離子蝕刻

ICPECVD 系統(tǒng)

原子層沉積系統(tǒng)

用于等離子蝕刻和沉積的集群配置

質(zhì)量控制計量

橢圓偏振光譜儀

光譜反射計

激光橢偏儀

原位計量/端點檢測

主要型號：SI 500 ICP-RIE

ICP-RIE SI 500

Etchlab 200 RIE

德國SENTECH 等離子刻蝕機 ICP-RIE SI 500產(chǎn)品介紹： SI 500 ICP-RIE 等離子刻蝕機

型號: ICP-RIE SI 500

等離子源: PTSA（三螺旋平行板天線）等離子源

襯底溫度控制: 動態(tài)溫度控制的襯底電極，溫度范圍從-150°C至+400°C

真空系統(tǒng): 全自動控制的真空系統(tǒng)

控制軟件: 使用遠(yuǎn)程現(xiàn)場總線技術(shù)的SENTECH控制軟件

用戶界面: 用戶友好的通用接口

靈活性和模塊化: 設(shè)計特點為靈活性和模塊化

適用材料: 可用于加工各種材料，包括三五族化合物半導(dǎo)體（GaAs, InP, GaN, InSb）、介質(zhì)、石英、玻璃、硅和硅化合物（SiC, SiGe）、金屬等

特點:

高離子密度和低離子能量的均勻等離子體

高耦合效率和非常好的起輝性能

單晶片預(yù)真空室保證穩(wěn)定的工藝條件

切換工藝非常容易

優(yōu)勢特點：高密度等離子體: 產(chǎn)生高離子密度和低離子能量分布均勻的等離子體

納米結(jié)構(gòu)損傷小: 由于離子能量分布較低，可以實現(xiàn)低損傷蝕刻和納米結(jié)構(gòu)

簡單高速腐蝕: 高長徑比MEMS用硅的高速率蝕刻

室溫工藝或光滑側(cè)壁的低溫工藝: 可選擇不同的工藝條件

靈活性和模塊化設(shè)計: 可根據(jù)需求進行升級和擴展